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Linz (lk) - JKU GrundlagenforscherInnen gehen den Dingen wirklich auf den Grund. Dazu
erstellen sie kleinste Strukturen und machen sie sichtbar. Am Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik
der Johannes Kepler Universität Linz bewegen sich die WissenschaftlerInnen meist im Nanobereich – und haben
dafür eine neue Elektronenstrahllithografie-Anlage in Betrieb genommen. Möglich wurde die 670.000 Euro
teure Investition durch die Unterstützung des Landes Oberösterreich.
Der Elektronenstrahllithografie („E-Beam“) erlaubt, Nanostrukturen aus verschiedensten Materialien gezielt und
flexibel auf einem Substrat zu definieren. Das bedeutet, der Strahl erstellt die gewünschte Nanostruktur auf
einer Oberfläche – und hilft auch noch bei der Untersuchung. Solche Nanostrukturen sind zwischen 10.000 und
100.000-mal kleiner als der Durchmesser eines menschlichen Haars. Entsprechend hoch sind die technischen Anforderungen,
um diese Strukturen zu erstellen und abzubilden.
Ähnlich wie bei der klassischen Fotografie, wo Licht ein lichtempfindliches Fotopapier lokal ändert,
bewirkt beim „E-Beam“ ein computergesteuerter Elektronenstrahl die Änderung der Oberfläche eines elektronen-empfindliches
Lacks auf dem Substrat.
Grundlagenforschung mit neuester Technologie
„Mit dieser Anschaffung ist die JKU auf dem neuesten Stand der Technik und kann ganz konkrete und verlässliche
Forschungsresultate gewinnen“, freut sich Institutsleiter Prof. Armando Rastelli über sein High-tech-Gerät.
Mit der „E-Beam“-Anlage werden neuartige Bauelemente entwickelt und im Detail untersucht. Die möglichen Anwendungen
reichen von Komponenten für die Sensorik und Halbleiteroptik bis hin zu Bauelementen für zukünftige
Quanten-Prozessoren und die sichere Datenübertragung anhand einzelner Photonen.
„An der JKU haben wir in unseren naturwissenschaftlichen Grundlagenbereichen die besten Voraussetzungen, um international
beachtete Forschungsleistungen zu liefern. Dazu braucht es kluge Köpfe und innovative Ansätze, aber auch
modernste Infrastruktur. Der neue ,E-Beam‘ ist ein wesentlicher Beitrag dazu. Ich danke dem Land OÖ für
die Unterstützung und wünsche unseren WissenschaftlerInnen viel Erfolg und spannende neue Erkenntnisse“,
so JKU-Rektor Meinhard Lukas. Auch sein Vorgänger als Rektor, Prof. Richard Hagelauer, betont die Bedeutung
der Anlage: „Ähnliche Geräte findet man in namhaften internationalen Forschungseinrichtungen wie dem
MIT in Boston. Sie sind für die Grundlagenforschung im Nanobereich unverzichtbar.“
„Es gehört in Zeiten knapper Budgets zu den wichtigsten Aufgaben einer Universität, ihre Gelder so zu
investieren, dass Lehre und Forschung bestmöglich unterstützt werden. Das ist mit diesem Gerät der
Fall, denn es stärkt unzweifelhaft den Forschungsstandort JKU“, so die JKU-Vizerektorin für Finanzen
Barbara Romauer.
Unterstützung durch das Land OÖ
„Exzellente Wissenschaft und Forschung braucht moderne Infrastruktur. Es ist mir als Bildungs- und Forschungslandesrätin
ein großes Anliegen, dass unsere Forscherinnen und Forscher in Oberösterreich bestmögliche Rahmenbedingungen
für ihre Arbeit vorfinden. Aus diesem Grund beteiligt sich das Land OÖ an den Kosten für die Anschaffung
der neuen Elektrostrahllithografie-Anlage an der JKU“, betont Landesrätin Mag.a Doris Hummer.
Dafür dankt auch Vizerektor Alexander Egyed. „Als Vizerektor für Forschung ist es mir wichtig, hervorragende
Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler nach Linz zu holen und hier zu halten. Dazu braucht es ein gut ausgestattetes
Arbeitsumfeld. Diese Investitionen lohnen sich; ich bin deshalb froh, dass wir gemeinsam mit dem Land diese Anschaffung
getätigt haben."
Die Kosten des Elektronenstrahllithografen wurden von der JKU (335.000 Euro), dem Land OÖ (285.000 Euro) sowie
dem Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik (50.000 Euro) getragen.
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